輪廓掃描干涉測量儀與法布里-珀羅標準具

干涉測量作為最重要的光學測量技術之一已在各領域得到廣泛應用。我們將介紹兩個示例，利用輪廓掃描干涉儀測量表面形貌和利用Fabry-Pérot標準具實現光譜測量。得益于非序列擴展功能，這兩個應用所采用的系統在VirtualLab中可以輕松地實現設置。不僅可以清晰地對其工作原理進行描述及可視化，利用非序列場追跡技術更能夠快速且精確地對這類系統進行分析。

 

輪廓掃描干涉測量儀
 

利用低相干氙燈光源，邁克爾遜干涉儀可以精確掃描給定樣品的表面輪廓。

 

 

利用標準具檢查鈉燈D光

 

在VirtualLab Fusion中使用非序列場追跡技術建模二氧化硅間隔標準具，并用將其于測量鈉D光。

 

 

 

 

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