VirtualLab矩形組合光柵建模(2)

 

圖10：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟9)示意圖
 

10) 高級設置標簽(Advanced Settings)，單擊 ，進行如圖11(1)-(3)設置，并觀察折射率分布如圖(4)：可以看出組合光柵的形狀及折射率分布。
 

(1)

(2)

(3)

(4)

圖11：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟10)示意圖

 

11) 進行近場分析：
 

(1)

 

  

(2)透射場振幅分布                (3)反射場振幅分布

圖12：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟11)示意圖
 

12) 雙擊 ，進入光柵衍射效率分析器編輯窗口(Edit Grating Efficiency Analyzer)，并做如下圖設置。
 

圖13：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟12)示意圖

 

13) 點擊 ，進行光柵衍射效率分析，獲取各級次的效率以及總的效率，如下圖：(1)極坐標表示形式；(2)不同級次所對應的角度與衍射效率圖；(3)總的反射、透射效率以及吸收率。
 

 

(1)

(2)

(3)

圖14：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟13)示意圖
 

14) 在光路流程圖(Light Path Diagram)中添加元件內部場分析器(Field Inside Component Analyzer: FMM)進行內部場分析：參數設置如圖15(1)(2)，結果圖為(3)(4)
 

(1)

(2)
 

點擊 ，計算組合光柵內部Ex和Ez的振幅分布。
 

  

(3)Ex 振幅分布                   (4)Ez振幅分布

圖15：使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟14)示意圖

總結：

1) 使用光柵工具箱的矩形界面和轉變點列界面可以構建不同結構的組合光柵

2) 使用傅里葉模態法(FMM)和薄元近似法(TEA)可以針對不同特征尺寸的光柵結構進行模擬仿真

3) 使用光柵工具箱中的光柵衍射效率分析器可以進行各級次的效率分析

4) 使用光柵工具箱中的元件內部場分析器可以獲得光柵內部場的分布。