泰伯效應

在衍射光學中，當周期性結構被準直光照射時，可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結構的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應（用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔），它已經在例如光刻中得到了常規應用。

 

利用快速物理光學建模和設計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術，可以充分研究這種效應及其應用。請看下面的例子，在這些例子中，我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應的基本原理，并更仔細地研究特定的光刻應用，以產生納米結構。

 

圓錐相位掩模版的泰伯成像
 

 

在VirtualLab Fusion中對帶有一層圓錐體的相位掩模板進行了嚴格的建模。檢測到不同的Talbot圖像，其中柱圖案在主圖像平面中再現，而孔圖案在次圖像平面中再現。

 

泰伯效應的建模
 

 

我們演示了Talbot效應的建模，Talbot效應是一種眾所周知的來自周期結構(如光柵)的近場衍射效應。